Kemurnian: Kemurnian target molibdenum adalah indikator kunci dari kinerjanya. Secara umum, kemurnian target molybdenum dengan kemurnian tinggi dapat mencapai 99,95% atau bahkan lebih tinggi.
Kepadatan: Kepadatan yang dekat dengan kepadatan teoritis molibdenum (10,22 g\/cm³) adalah tanda target molibdenum berkualitas tinggi. Kepadatan yang lebih tinggi menunjukkan bahwa ada lebih sedikit rongga dalam material dan strukturnya ketat, yang sangat penting untuk meningkatkan masa pakai dan stabilitas bahan target.
Konduktivitas termal: Konduktivitas termal molibdenum adalah sekitar 138 W\/m · k. Konduktivitas termal yang tinggi sangat penting untuk kontrol suhu target selama lapisan berkecepatan tinggi, yang membantu mencegah kerusakan overheating dan struktural target.
Koefisien Ekspansi Termal: Molybdenum memiliki koefisien ekspansi termal rendah sekitar 4,8 × 10^-6 \/ derajat. Fitur ini berarti bahwa target molibdenum memiliki stabilitas dimensi yang baik di bawah perubahan suhu, yang membantu mempertahankan konsistensi dan akurasi proses deposisi film tipis.
Kekerasan dan Kekuatan: Molybdenum memiliki kekerasan Vickers sekitar 2500 HV dan memiliki kekuatan mekanik yang tinggi. Ini memungkinkan target molibdenum untuk menahan guncangan mekanis selama lapisan berkecepatan tinggi.
Kerataan dan kekasaran permukaan: Kerataan permukaan dan kekasaran juga merupakan parameter penting untuk mengevaluasi kualitas target molibdenum. Perawatan permukaan yang baik dapat mengurangi generasi partikel selama penggunaan target dan meningkatkan keseragaman dan kualitas film yang disimpan.
Tampilan Gambar Sampel Target Molybdenum
