Metode peleburan vakum:
Proses: Lelehkan logam zirkonium dalam lingkungan vakum.
Keuntungan: Hindari oksidasi dan kotoran, dan pastikan kemurnian target yang tinggi.
Teknologi pengepresan isostatik panas:
Proses: Gunakan suhu tinggi dan tekanan tinggi untuk memadatkan bubuk zirkonium menjadi target.
Keuntungan: Menghasilkan struktur target dengan kepadatan tinggi dan seragam.
Metode peleburan berkas elektron:
Fitur: Gunakan berkas elektron sebagai sumber panas untuk melelehkan logam zirkonium.
Keuntungan: Proses peleburan dapat dikontrol secara akurat untuk meningkatkan keseragaman dan kemurnian target.
Teknologi pelapisan putaran plasma:
Fitur: Gunakan teknologi plasma untuk menyimpan material zirkonium pada substrat yang berputar.
Keunggulan: Mampu memproduksi target dengan struktur mikro tertentu, cocok untuk aplikasi khusus.
Detail dasar target zirkonium Zhenan
